聚焦离子束扫描电子显微镜-如何正确使用[博越仪器]

聚焦离子束扫描电子显微镜是一种用于材料科学、化学、物理学、航空、航天科学技术领域的分析仪器，聚焦离子束(FIB)光源与扫描电子显微镜(SEM)相结合，由于其独特的生成各种结构的能力，无论是通过切割还是离子束诱导沉积(IBID)，都引起了人们的极大兴趣。通过SEM观察。

其主要应用于各种材料形貌观察和分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等;材料微纳结构的样品制备，包括：SEM在线观察下制备TEM样品、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积等.。但是，在一些情况下，两种离子源都不是理想的选择。

聚焦离子束扫描电子显微镜，允许快速、简便地进行离子束切换的仪器。以前，应用不同的离子束需要研究人员在仪器之间转移样品,或进行冗长而复杂的源交换。使用独立的专用宽束氩离子抛光机,在初始切割后,可直接将聚焦的氩离子应用于样品抛光,从而大大减少了样品的转移和处理时间。切换时间为 10 分钟或更短,研究人员还可以在一个小节内将所有 4 束光束应用于样品,以确定哪种离子最适合其预期用途。这种灵活性扩展了FIB在探索电子-样品相互作用方面的潜在应用。

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