扫描透射电子显微镜-和扫描电子显微镜的区别[博越仪器]

扫描透射电子显微镜和扫描电子显微镜看着很相似，导致一些采购设备人员容易混淆，那扫描透射电子显微镜和扫描电子显微镜有什么区别呢？下面我们就来为大家详细介绍下。

透射电子显微镜和扫描电子显微镜的区别如下：主要有结构、基本工作原理差异：透射电子显微镜是用透过样品的电子束使其成像的电子显微镜，在一个高真空系统中，由电子枪发射电子束，穿过被研究的样品，经电子透镜聚焦放大，在荧光屏上显示出高度放大的物像，还可作摄片记录的一类最常见的电子显微镜。而电子扫描显微镜是用电子探针对样品表面扫描使其成像的电子显微镜。应用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌与成分。

另外在对样品要求，扫描电镜SEM制样对样品的厚度没有特殊要求，可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来，从而转化为可以观察的表面。透射电镜由于TEM得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度，因此样品观测部位要非常的薄，例如存储器器件的TEM样品一般只能有10～100nm的厚度，这给TEM制样带来很大的难度。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀（FIB）来进行精细加工。

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