扫描电子显微镜检测-使用注意项[博越仪器]

在半导体器件的制造过程中，晶圆的检测对保证产品的质量是非常重要的。通过检测晶圆的缺陷并进行分析，可以找到产生缺陷的原因，从而实现成品率的提高和生产线的稳定运转。目前，使用扫描电子显微镜检测对晶圆进行缺陷检查是较为常用的一种方法。

而对于扫描电子显微镜检测，这类精密设备的检测操作往往需要相当的标准化，在使用过程中需要注意很多的东西，才能够延长扫描电镜的使用寿命，在操作中有哪些具体的要求呢？下面小编将详细介绍一下，具体的要求如下：首先关于样品的要求：需用扫描电镜观测的样品，必须干燥，无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘结）。对镶嵌块，断面样品等高度大的样品，千万不要对样品台平面聚焦，只能对样品上表面聚焦。

其次，就是有关电脑的特别提醒：扫描电镜的电脑是控制整台扫描电镜的，电脑的CMOS管理，显示卡及驱动程序等与普通电脑不同，请不要当作普通电脑来使用。禁止修改电脑的任何设置，禁止安装任何软件。禁止使用USB接口、U盘。使用光驱或软驱等需经电镜管理人员检查同意，严防病毒感染。电脑的许多指令要驱动扫描电镜中的电气部件或机械部件的一系列动作，时间可能较长，千万不要连续点击或按键，否则可能引起电脑死机。文件名不要超过8位，要以字母开头。

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