扫描电子显微镜优缺点-专家详解[博越仪器]

扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。那扫描电子显微镜优缺点有那些呢？下面20年实战工程师为您专业解答。

在对扫描电子显微镜优点进行整理后，其独有的优势特点可以归类如下：一，高分辨率，扫描电镜二次电子像的分辨率可达到3nm，超高分辨扫描电镜二次电子像的分辨率则高达1nm。二，景深大，扫描电镜可达到1mm。三，放大倍数在大范围内连续可调，在高放大倍数下图像也有足够的信号亮度。四，试样制备相对简便。五，可进行动态观察。

扫描电子显微镜缺点可以归类如下：一，分辨率不及TEM和AFM（原子力显微术），不能观察到物质的分子和原子像。二，试样需置于真空环境下观察，限制了样品的类型。三，只能观察样品表面形貌，表面以下结构不能探测。四，没有高度方向信息，只有二维平面图像。五，不能观察液体样品。

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